| 面向三维实体建模的MEMS设计方法 |
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| 引用本文： | 滕云,苑伟政,常洪龙.面向三维实体建模的MEMS设计方法[J].传感技术学报,2011,24(3):350-353. |
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| 作者姓名： | 滕云 苑伟政 常洪龙 |
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| 作者单位： | 西北工业大学陕西省微纳米系统重点实验室,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划项目 |
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| 摘 要： | 根据"所见即所得"的设计理念,提出了一种面向三维实体建模的MEMS设计方法,实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程,使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型,在完成有限元分析后,可以通过组件映射和宏模型提取的方式获得系统级模型,再通过自动版图转换得到相应的工艺版图.此设计方法可以提高设计效率,并且保证了模型...
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| 关 键 词： | MEMS 三维实体建模 设计方法 |
A 3D Solid Modeling Oriented MEMS Design Approach |
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| TENG Yun,YUAN Weizheng,CHANG Honglong.A 3D Solid Modeling Oriented MEMS Design Approach[J].Journal of Transduction Technology,2011,24(3):350-353. |
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| Authors: | TENG Yun YUAN Weizheng CHANG Honglong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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