| 基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制 |
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| 引用本文： | 杨勇,常洪龙,谢中建,周平伟.基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制[J].传感技术学报,2012,25(10). |
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| 作者姓名： | 杨勇 常洪龙 谢中建 周平伟 |
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| 作者单位： | 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室; |
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| 基金项目： | 新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-10-0077);国家自然基金项目(61273052) |
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| 摘 要： | 针对铂湿法刻蚀工艺,提出了间断性腐蚀法,并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比,结果显示该方法腐蚀铂曲线光滑、效果好。之后,以普通硅片作为衬底材料,二氧化硅作为隔热层,采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏传感器。经热敏性能测试,其电阻温度系数在20℃～80℃时为1571.2×10-6/℃;同一批次电阻阻值均匀性为0.35%;非线性度为0.57%;热时间常数为1.1μs;在0.5 h的稳定性测试中其变化幅值为0.005Ω,即精度为0.01%。该热敏传感器制作工艺简单,性能优异,可用于温度敏感、气体传感等热敏传感。
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| 关 键 词： | MEMS 传感器 间断性腐蚀法 电阻温度系数 热时间常数 |
Research and fabrication of platinum thermal sensor based on intermittent etching method |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS sensor intermittent etching method TCR hot-time constant |
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