| 划分IC缺陷团的聚类算法 |
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| 引用本文： | 赵天绪,马佩军,郝跃.划分IC缺陷团的聚类算法[J].计算机学报,2002,25(6):661-665. |
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| 作者姓名： | 赵天绪 马佩军 郝跃 |
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| 作者单位： | 1. 西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071;宝鸡文理学院数学系,宝鸡,721007
2. 西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071 |
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| 摘 要： | 大量实验表明了在集成电路（IC）制造过程中形成中的缺陷团之间具有很强的相关性，然而现用于划分缺陷团的方法均忽略了缺陷之间的相关性。因此，得到了缺陷分布规律不能有效地反映缺陷在圆片上的分布，为了提高IC成品率和可靠性仿真和设计的精度，提高缺陷分布模型的准确性，该文提出了划分缺陷团的聚类算法，该方法依据缺陷形成的动力学基础，充分考虑了缺陷团之间的相关性，实验证明该算法用于划分IC的缺陷团是十分有效的。
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| 关 键 词： | IC缺陷团 聚类算法 相关性 缺陷分布 集成电路 制造过程 |
| 修稿时间： | 2001年4月27日 |
The Clustering Algorithm of Partitioning IC's Defects into Clusters |
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| ZHAO Tian Xu , MA Pei Jun HAO Yue.The Clustering Algorithm of Partitioning IC''''s Defects into Clusters[J].Chinese Journal of Computers,2002,25(6):661-665. |
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| Authors: | ZHAO Tian Xu MA Pei Jun HAO Yue |
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| Affiliation: | ZHAO Tian Xu 1),2) MA Pei Jun 1) HAO Yue 1) 1) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | IC's defects correlation defect distribution clustering algorithm |
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