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激光光束光斑诊断仪探针微孔的设计与加工
引用本文:李强,雷訇,白志强,左铁钏.激光光束光斑诊断仪探针微孔的设计与加工[J].北京工业大学学报,2000,26(2):124-127.
作者姓名:李强  雷訇  白志强  左铁钏
作者单位:北京工业大学应用物理系,国家产学研激光技术中心,北京,100022
基金项目:国防科工委预研项目;;
摘    要:针对激光加工大功率激光光束光斑诊断仪的要求,对探针微孔的加工要求进行了分析,介绍了微孔加工的系统,实现了对探针微孔的加工.

关 键 词:诊断仪  探针微孔  激光加工
修稿时间:1999年8月31日

Design and Proceesing of the Pinhole in Probe for High Power Beam/Focus Analyser
Li Qiang, Lei Hong, Bai Zhiqiang, Zuo Tiechuan.Design and Proceesing of the Pinhole in Probe for High Power Beam/Focus Analyser[J].Journal of Beijing Polytechnic University,2000,26(2):124-127.
Authors:Li Qiang  Lei Hong  Bai Zhiqiang  Zuo Tiechuan
Abstract:According to the requirement of high power beam/foucs analyser, the processing requirement of the pinhole in probe is analyzed. The system of pinhole processing is described. The processing of the pinhole is realized.
Keywords:analyser  needle pinhole  laser processing
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