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| 蓝宝石化学机械抛光液作用机制研究 | |
| 引用本文： | 邢 星,王良咏,刘卫丽,谢华清,宋志棠,蒋 莉,邵 群,程 继,熊世伟,刘洪涛.蓝宝石化学机械抛光液作用机制研究[J].上海第二工业大学学报,2013(3). |
| 作者姓名： | 邢 星 王良咏 刘卫丽 谢华清 宋志棠 蒋 莉 邵 群 程 继 熊世伟 刘洪涛 |
| 摘 要： | |
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