用于晶体生长监测的变焦显微物镜设计 |
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引用本文: | 李晨晓,陈宇,张润泽,李阳,张家铭.用于晶体生长监测的变焦显微物镜设计[J].长春理工大学学报,2019,42(5). |
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作者姓名: | 李晨晓 陈宇 张润泽 李阳 张家铭 |
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作者单位: | 长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022;长春理工大学 光电工程学院,长春,130022 |
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基金项目: | 吉林省发改委产业创新专项资金项目 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 晶体生长 超长工作距离 变焦显微镜 Zemax |
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