| 钛酸钡薄膜的喷雾热分解方法制备及PTC效应研究 |
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| 引用本文： | 武光明,朱江.钛酸钡薄膜的喷雾热分解方法制备及PTC效应研究[J].北京石油化工学院学报,2003,11(1):5-8. |
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| 作者姓名： | 武光明 朱江 |
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| 作者单位： | 北京石油化工学院,北京,102617 |
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| 摘 要： | 介绍了在Pt／Ti/Si(100)衬底上用溶胶溶液和喷雾热分解方法制备BaTiO3薄膜，并研究其PTC效应。富钛3％的钛酸钡溶胶溶液在衬底温度650℃环境下成膜，氧气作为载气其流量为1．5L／min，800℃环境下退火2h。在大于居里点温度Tc(138℃)时表现出良好的PTC效应。钛酸钡薄膜厚度1500nm时，室温下极间电阻为70Ω。在大于居里点温度Tc(138℃)时，极间电阻可达10^6Ω。
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| 关 键 词： | 铁酸钡薄膜 喷雾热分解方法 制备 PTC效应 研究 |
| 修稿时间： | 2002年11月11日 |
Preparation of BaTiO3 Thin Films by Nebulized Spray Pyrolysis Method and Studies on PTC Effects |
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| Wu Guangming,Zhu Jiang.Preparation of BaTiO3 Thin Films by Nebulized Spray Pyrolysis Method and Studies on PTC Effects[J].Journal of Beijing Institute of Petro-Chemical Technology,2003,11(1):5-8. |
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| Authors: | Wu Guangming Zhu Jiang |
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| Keywords: | barium titanate thin films nebulized spray pyrolysis method PTC |
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