| 基于Fuzzy-PID的MOCVD温度控制方法 |
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| 引用本文： | 过润秋,解宝辉.基于Fuzzy-PID的MOCVD温度控制方法[J].西安电子科技大学学报,2005,32(4):504-507. |
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| 作者姓名： | 过润秋 解宝辉 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学机电工程学院,陕西西安710071 |
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| 基金项目： | 陕西省自然科学基金资助项目（2002F13）;陕西省科学技术研究发展计划资助项目（2004K05-G1） |
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| 摘 要： | 针对MOCVD系统反应室温度的特性和对温度控制的要求，提出了一种基于Fuzzy—PID的温度控制方案，即利用模糊控制求得归一化的PID参数变化系数，从而实现PID参数的在线自调整．与Smith预估控制和比，Fury—PID具有更好的控制效果，较好地解决了系统中存在的“非线性”、“大滞后”、“物理模型不精确”等问题，满足MOCVD控制系统温度控制要求．
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| 关 键 词： | MOCVD 温度控制 模糊PID控制 |
| 文章编号： | 1001-2400（2005）04-0504-04 |
| 收稿时间： | 2004-08-11 |
| 修稿时间： | 2004-08-11 |
Research on MOCVD temperature control based on Fuzzy-PID |
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| Guo RunQiu;Jie BaoHui.Research on MOCVD temperature control based on Fuzzy-PID[J].Journal of Xidian University,2005,32(4):504-507. |
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| Authors: | Guo RunQiu;Jie BaoHui |
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| Affiliation: | (School of Mechano-electronic Engineering, Xidian Univ., Xi′an 710071， China) ; |
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| Abstract: | According to the temperature characteristics of the reactor and the requirements for temperature control in the MOCVD system, a kind of Fuzzy-PID temperature controller is proposed. Fuzzy-PID can realize the PID parameters on-line self-regulation, normalizing varying PID parameter coefficients into the range between 0 and 1 by using fuzzy control. In addition, the corresponding simulation is given. The results indicate that the Fuzzy-PID controller has better control performance (such as non-linearity, hysteresis and unprecision physical model) than the Smith controller, and can meet the design requirements for the MOCVD temperature controller. |
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| Keywords: | MOCVD temperature control Fuzzy-PID control |
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