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| Monte Carlo方法模拟背散射电子固体表面空间分布 | |
| 引用本文： | 谭震宇,蒋定举.Monte Carlo方法模拟背散射电子固体表面空间分布[J].山东工业大学学报,1995,25(2):101-107. |
| 作者姓名： | 谭震宇 蒋定举 |
| 摘 要： | 应用Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ方法模拟低能电子在固体中的散射过程；电子的弹性散射用较严格的Ｍｏｔｔ截面计算；非弹性散射分子为等离子激发、导带电子激发及壳层电子激发并由Ｑｕｉｎｎ，Ｓｔｒｅｉｔｗｏｌｆ及Ｇｒｙｚｉｎｓｋｉ的截面描述，对不同能量低能电子作用下不同元素固体中背散射电子、低能损背散射电子表面空间分布作了计算，结果表明低能损背散射电子具有较好的空间分辨率，这对改善背散射电子图象以及电子束曝光检测 |
| 关 键 词： | 电子束 弹性散射 固体 背散射电子 蒙特卡罗法 |
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