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| 聚氨酯电子抛光垫材料的组成及形态结构研究 | |
| 引用本文： | 马驰,刘长伟,史颖,刘立志,王连慧,刘紫婷.聚氨酯电子抛光垫材料的组成及形态结构研究[J].聚氨酯工业,2019,34(5). |
| 作者姓名： | 马驰 刘长伟 史颖 刘立志 王连慧 刘紫婷 |
| 作者单位： | 沈阳化工大学高分子产业高端制造研究院 辽宁沈阳110142;沈阳化工大学材料科学与工程学院 辽宁沈阳110142;沈阳化工大学高分子产业高端制造研究院 辽宁沈阳110142 |
| 基金项目： | 辽宁省自然科学基金;辽宁省兴辽英才计划青年拔尖人才资助项目;领军人才项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 化学机械抛光法 聚氨酯 抛光垫 化学组成 |
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