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| 有机硅酸酯薄膜SO2气体传感器 | |
| 引用本文： | 王道,李丽,武少华,孟声,陈霭璠.有机硅酸酯薄膜SO2气体传感器[J].化工学报,2003,54(1). |
| 作者姓名： | 王道 李丽 武少华 孟声 陈霭璠 |
| 作者单位： | 1. 北京工业大学环境与能源工程学院,北京,100022 2. 北京化工大学理学院,北京,100029 |
| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法和自旋涂覆技术在二氧化硅为基材的梳状电极电容器(IDC)上形成有机硅酸酯的气敏涂层.在室温和0.1 kHz、1 kHz、10 kHz频率下测定了该电容器的电容,实验表明其电容的改变值和气氛中二氧化硫(SO2)浓度的变化呈线性关系,亦与测量时使用的频率和气敏涂层的厚度密切相关.在本实验条件下,经有机改性的N,N-二乙基氨丙基三甲氧基硅烷比同类的硅酸酯对SO2有更高的灵敏度. |
| 关 键 词： | 二氧化硫 化学传感器 硅酸酯膜 |
SO2 GAS SENSORS WITH ORGANIC SILICATE FILM |
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