| TiO2-SnO2薄膜的湿敏性能研究 |
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| 引用本文： | 韩志萍,闫龙,王玉飞,史志铭.TiO2-SnO2薄膜的湿敏性能研究[J].硅酸盐通报,2010,29(4):903-907. |
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| 作者姓名： | 韩志萍 闫龙 王玉飞 史志铭 |
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| 作者单位： | 榆林学院化学与化学工程学院,榆林,719000;内蒙古工业大学材料科学与工程学院,呼和浩特,010051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，陕西省科技研究发展计划项目，陕西省教育厅科学研究计划项目，榆林市科技计划项目 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶工艺在印有梳状银电极的石英玻璃表面制备了不同含量Sn2+掺杂的氧化钛薄膜,通过烧结制得一系列湿敏元件,研究了Sn2+掺杂量、烧结温度和工作频率对薄膜湿敏性能的影响.研究表明,较低的工作频率下元件的湿敏性能较好;Sn2+的加入不同程度地降低了TiO2基薄膜的阻抗值,其中TiO2-15wt%SnO2薄膜表现出最高的灵敏度;薄膜高的湿敏性能与Sn2+掺杂引起的晶粒度变化以及热处理过程中的晶型转变有关.
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| 关 键 词： | 氧化钛 薄膜 湿度敏感 离子掺杂 |
Study on Humidity Sensing Properties of TiO2-SnO2 Thin Films |
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| HAN Zhi-ping,YAN Long,WANG Yu-fei,SHI Zhi-ming.Study on Humidity Sensing Properties of TiO2-SnO2 Thin Films[J].Bulletin of the Chinese Ceramic Society,2010,29(4):903-907. |
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| Authors: | HAN Zhi-ping YAN Long WANG Yu-fei SHI Zhi-ming |
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