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化学气相沉积(CVD)炭/碳复合材料(C/C)研究现状
引用本文:程永宏,罗瑞盈,王天民.化学气相沉积(CVD)炭/碳复合材料(C/C)研究现状[J].炭素技术,2002(5):26-32.
作者姓名:程永宏  罗瑞盈  王天民
作者单位:北京航空航天大学材料物理与化学研究中心,北京,100083
摘    要:主要介绍了炭/炭复合材料(C/C)的化学气相沉积(CVD0制备方法及其影响因素,以及热解炭的组织与沉积机理。概括了VCD的基本方法,如等温法、压差法、热梯度法等。分析了温度、气流速率、气体浓度、预制体及孔隙的形状大小状况等对CVD过程的影响。列举了热解炭的组织,包括光滑层、粗糙层、各向同性体碳以及它们的变体,并对其生长特征及性能进行了较详细的描述。综述了热解炭的沉积机理,典型的有分子沉积、固态沉积、液滴沉积机理等。

关 键 词:炭/炭复合材料  化学气相沉积  热解炭  沉积机理
文章编号:1001-3741(2002)05-0026-07
修稿时间:2002年7月2日

SUMMARY OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) IN PREPARATION OF CARBON/CARBON COMPOSITES
Abstract:
Keywords:Carbon/carbon  chemical vapor deposition  pyrolytic carbon  deposition mechanism
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