| 金属氧化物半导体气敏传感器的研究和开发进展 |
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| 引用本文： | 蔡晔,葛忠华.金属氧化物半导体气敏传感器的研究和开发进展[J].化工生产与技术,1997,4(2):29-34. |
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| 作者姓名： | 蔡晔 葛忠华 |
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| 作者单位： | 浙江工业大学化工学院!浙江杭州，310014，浙江工业大学化工学院!浙江杭州，310014，浙江工业大学化工学院!浙江杭州，310014 |
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| 摘 要： | 综述了近期国内外金属氧化物半导体气敏传感器的研究和开发进展；阐述了半导体气敏材料的气敏作用及机理；展望了今后半导体气敏传感器技术的发展趋向。
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| 关 键 词： | 金属氧化物 气敏传感器 半导体 |
Recent Development and Studies of Metal Oxide Semiconductor Gas Sensors |
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| Cai Ye, Ge Zhonghua, Chen Yinfei.Recent Development and Studies of Metal Oxide Semiconductor Gas Sensors[J].Chemical Production and Technology,1997,4(2):29-34. |
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| Authors: | Cai Ye Ge Zhonghua Chen Yinfei |
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| Abstract: | This paper summarizes recent development and studies of metal Oxide semiconductor gas sensors at home and abroad. The gas sensing mechanisms of metal oxide gas sensors are described. The technology develop-ment trends of metal oxide gas sensors are also discussed. |
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| Keywords: | metal oxide gas sensors development and studies |
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