| 退火温度对铁电薄膜钛酸锶钡的影响 |
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| 引用本文： | 韦其红,赵振华,付兴华,侯文萍.退火温度对铁电薄膜钛酸锶钡的影响[J].陶瓷学报,2006,27(1):92-96. |
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| 作者姓名： | 韦其红 赵振华 付兴华 侯文萍 |
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| 作者单位： | 1. 济南大学材料科学与工程学院,250022
2. 济南市城建材料开发服务中心,250032 |
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| 摘 要： | 用醋酸盐和钛酸酯为原料,采用Sol-Gel工艺在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备出Ba0.5Sr0.5TiO(3BST)铁电薄膜,然后在650-800℃下对BST薄膜进行退火,研究退火温度对钛酸锶钡铁电薄膜的影响。X射线衍射分析表明:退火温度在750℃以上时,BST薄膜转变成较为完整的ABO3型钙钛矿结构;SEM分析表明:750℃热处理的薄膜颗粒较大,且颗粒生长较好;阻抗分析仪测试表明:750℃退火处理的薄膜介电性能最佳;TEM分析表明:750℃晶粒发育完善、清晰,晶粒与晶粒之间比较紧密,且存在微畴区域。
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| 关 键 词： | 退火 X射线衍射 介频谱 |
| 文章编号： | 1000-2278(2006)01-0092-05 |
| 收稿时间： | 2005-10-25 |
| 修稿时间： | 2005年10月25 |
EFFECT OF ANNEALING TEMPERATURE ON FERROELECTRIC BARIUM STRONTIUM TITANATE THIN FILMS |
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| Wei Qihong,Zhao Zhenhua,Fu Xinghua,Hou Wenping.EFFECT OF ANNEALING TEMPERATURE ON FERROELECTRIC BARIUM STRONTIUM TITANATE THIN FILMS[J].Journal of Ceramics,2006,27(1):92-96. |
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| Authors: | Wei Qihong Zhao Zhenhua Fu Xinghua Hou Wenping |
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| Affiliation: | 1.Department of Materials Science and Engineering, Jinan University, Jinan 250022;2.The Exploitation Service Center of Materials of City Construction, Jinan 250032 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | BST |
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