粒状多晶硅制备的内循环流化床反应器研究

制备粒状多晶硅的流化床工艺在能耗和效率上具有明显优势,使用内循环流化床(ICFB)可以显著减少加热壁面的硅沉积。为此对内循环流化床(直径300 mm,高2 000 mm)冷模装置进行了实验研究,考察了宽筛分颗粒的流化行为。结果表明内循环流化床中颗粒整体循环流动有效抑制了分级流化。针对供热和气体旁流两个核心问题,考察了固含率、颗粒循环速度以及气体旁流的变化规律。当环隙区流化数UD/Umf和导流筒内流化数UR/Umf分别在2.5~3.2和2.2~2.7时,由中心筒到环隙的气体旁流量γRD小于4%。基于衡算和热态实验数据进行估算,表明内循环流化床能够满足供热需求并能有效抑制加热壁面硅沉积。