| WO3薄膜材料的气敏性能 |
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| 引用本文： | 姜淼,侯峰,徐廷献,徐明霞.WO3薄膜材料的气敏性能[J].硅酸盐学报,2004,32(9):1064-1067. |
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| 作者姓名： | 姜淼 侯峰 徐廷献 徐明霞 |
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| 作者单位： | 天津大学,先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072;天津大学,先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072;天津大学,先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072;天津大学,先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家基金委重大项目(599955206)和国家自然科学基金(50072014)资助项目. |
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| 摘 要： | 研究了WO3薄膜材料的制备工艺、气敏性能和贵金属表面改性。以钨酸为原料、加入有机络合剂的无机盐溶胶-凝胶(inorganic solgel method，ISG)法合成了WO3薄膜。确定了最佳ISG工艺制度，即以柠檬酸为络合剂，10次成膜，预处理温度为600℃，烧成温度为650℃。实验结果表明：WO3是一种n型半导体，其最佳工作温度为550℃。通过掺杂贵金属制备了Pt/WO3薄膜材料，有效地改善了薄膜的气敏性能，可以在600℃下获得高达4100的灵敏度。WO3的气敏机理为表面控制型。
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| 关 键 词： | 氧化钨薄膜 铂 无机盐溶胶-凝胶法 氧气敏感 表面修饰 |
| 文章编号： | 0454-5648(2004)09-1064-04 |
| 修稿时间： | 2003年10月14 |
GAS SENSING PROPERTIES OF WO3 THIN FILMS |
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| JIANG Miao,HOU Feng,XU Tingxian,XU Mingxia y,Ministry of Education,Tianjin,China.GAS SENSING PROPERTIES OF WO3 THIN FILMS[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2004,32(9):1064-1067. |
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| Authors: | JIANG Miao HOU Feng XU Tingxian XU Mingxia y Ministry of Education Tianjin China |
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| Affiliation: | JIANG Miao,HOU Feng,XU Tingxian,XU Mingxia y,Ministry of Education,Tianjin300072,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | tungsten oxide thin films platinum inorganic-solgel method oxygen sensitivity surface modification |
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