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| SiC和Si_3N_4纳米陶瓷粉体制备技术 | |
| 引用本文： | 黄政仁,江东亮.SiC和Si_3N_4纳米陶瓷粉体制备技术[J].硅酸盐学报,1996(5). |
| 作者姓名： | 黄政仁 江东亮 |
| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 摘 要： | 纳米材料科学是近年来兴起的新的科学领域，纳米粉体的制备则是纳米材料研究的主要方面。本文比较详细地介绍了制备碳化物、氮化物纳米陶瓷粉体的四种主要工艺：热化学气相反应法、激光诱导化学气相沉积法、等离子气相合成法和溶胶凝胶法。对于目前碳化物、氮化物纳米陶瓷粉体的制备工艺和目前水平作了一个总体概括 |
| 关 键 词： | 纳米粉体，热化学气相反应法，激光诱导化学气相沉积法，等离子气相合成法，溶胶凝胶法，碳化硅，氮化硅 |
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