| ITO靶材热等静压致密化工艺研究 |
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| 引用本文： | 张树高,吴义成,方勋华,黄伯云,扈百直.ITO靶材热等静压致密化工艺研究[J].粉末冶金材料科学与工程,1999(2). |
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| 作者姓名： | 张树高 吴义成 方勋华 黄伯云 扈百直 |
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| 作者单位： | 粉末冶金国家重点实验室，粉末冶金国家重点实验室，粉末冶金国家重点实验室，粉末冶金国家重点实验室，西北稀有金属材料研究院 长沙 410083，长沙 410083，长沙 410083，长沙 410083，宁夏 753000 |
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| 基金项目： | 国家“九五”科技攻关资助项目 |
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| 摘 要： | 用化学共沉淀法制备的ITO复合粉末经冷等静压成形后进行热等静压致密化,热等静压时采用碳钢作包套,采用铜箔作隔层,实验研究了热等静压主要工艺参数对ITO陶瓷靶材致密化的影响,实验结果表明:靶材的相对密度在大约1000℃处有一峰值;相对密度随压力增加而增加;当保温温度较低时,适当延长保温时间有利于提高密度;当保温温度较高时,延长保温时间反而使密度降低,分析了ITO在高温下的分解行为以及这种行为对致密化的作用,还解释了ITO复合粉末部分脱氧使ITO陶瓷半导化的机理。
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| 关 键 词： | ITO陶瓷靶材 热等静压 致密化 |
INVESTIGATION ON HIP TECHNIQUE FOR DENSIFICATION OF INDIUM TIN OXIDE CERAMIC TARGET |
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| Zhang Shugao Wu Yichen Fang Xunhua Huang Baiyun.INVESTIGATION ON HIP TECHNIQUE FOR DENSIFICATION OF INDIUM TIN OXIDE CERAMIC TARGET[J].materials science and engineering of powder metallurgy,1999(2). |
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| Authors: | Zhang Shugao Wu Yichen Fang Xunhua Huang Baiyun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ITO ceramic target HIP densification |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
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