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| Φ200 mm CZSi复合式热场的数值模拟研究 | |
| 引用本文： | 任丙彦,李洪源,张燕,张兵,郭贝.Φ200 mm CZSi复合式热场的数值模拟研究[J].稀有金属,2008,32(2):161-164. |
| 作者姓名： | 任丙彦 李洪源 张燕 张兵 郭贝 |
| 作者单位： | 河北工业大学材料学院,天津,300130 |
| 摘 要： | 对国产TDR-80型单晶炉的复合式热场系统进行了优化设计, 建立了不同条件下的理论模型, 采用有限元数值模拟的方法分析了主加热器的延伸率、埚径比和熔体高度变化对直拉硅单晶生长中的温度梯度和热流密度分布的影响, 为提高晶体生长速率和质量提供了必要的理论依据. |
| 关 键 词： | CZSi 热场 有限元 双加热器 热对流 CZSi 复合式 热场 数值模拟 模拟研究 Thermal Field Composite Simulation Numerical 理论模型 质量 晶体生长速率 影响 热流密度分布 温度梯度 单晶生长 直拉硅 高度变化 熔体 径比 |
| 文章编号： | 0258-7076(2008)02-0161-04 |
| 修稿时间： | 2007年8月15日 |
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