MEMS加速度传感器动态误差补偿方法的研究

针对MEMS加速度传感器在实时检测中存在动态误差，现有动态误差补偿方法在实时性方面不能满足要求，提出了一种按频域抽取的快速傅里叶变换混合算法进行动态误差补偿的方法，首先分析建立MEMS加速度传感器输出的频率响应模型，其次利用动态误差补偿算法分析加速度的特征频率，实现对特征频率点的加速度进行补偿，通过对加速度传感器的硬件和软件设计，进行实验测试。实验测试结果表明，通过传感器软件数据处理，在0～1 000 Hz,经过动态误差补偿后的传感器在X轴、Y轴、Z轴方向，0～16 g_n量程范围内，实时检测精度均可达到1%以内，实时性及检测的精度完全满足加速度测量要求。