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| 光学系统设计中的光阑应用分析 | |
| 引用本文： | 高爱梅,李星辰,王婷婷.光学系统设计中的光阑应用分析[J].电子工业专用设备,2019,48(2):24-27. |
| 作者姓名： | 高爱梅 李星辰 王婷婷 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176 |
| 摘 要： | 基于远心镜头、显微镜头等成像镜头的光学系统在半导体装备上应用非常广泛。光学系统设计中需要规定对一定成像范围内的物点,以要求孔径角成像,这些对成像光束起到约束作用的孔径称为光阑;依据作用不同,一般分为孔径光阑、视场光阑、渐晕光阑和消杂散光阑;结合光学系统设计案例,深入分析了各类光阑对光学系统的影响。 |
| 关 键 词： | 光阑 孔径 视场 渐晕 杂光 |
Analysis of Diaphragm Applied to Optic System Design |
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