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高压VDMOS的设计
引用本文:郝晓波.高压VDMOS的设计[J].数字技术与应用,2010(8):101-102.
作者姓名:郝晓波
作者单位:西安卫光科技有限公司,陕西西安710065
摘    要:本文通过VDMOS的电参数来确定其结构参数。通过击穿电压来确定外延层的厚度和电阻率。通过阈值电压来确定栅氧的厚度。由饱和电流的表达式可知元胞的最大通态电流。导通电阻和击穿电压是两个相互矛盾的参数,增加击穿电压和降低导通电阻对器件尺寸的要求是矛盾的。

关 键 词:VDMOS  结构  设计指标  版图
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