| 准分子激光电化学复合工艺中热-力效应研究 |
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| 引用本文： | 龙芋宏.准分子激光电化学复合工艺中热-力效应研究[J].应用激光,2009,29(4). |
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| 作者姓名： | 龙芋宏 |
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| 作者单位： | 桂林电子科技大学机电工程学院,广西 桂林,541004 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划项目，国家自然科学基金资助项目，广西制造系统与先进制造技术重点实验室主任基金项目 |
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| 摘 要： | 为了探寻准分子激光电化学刻蚀硅工艺中的热-力效应特性,采用功率密度大的248nm准分子激光聚焦照射浸在KOH溶液中的n-Si表面,实现了一种激光电化学复合刻蚀工艺.通过数值仿真与实验比较的方法,对该工艺的刻蚀速率进行了分析.研究结果表明,该复合工艺存在激光直接刻蚀、电化学刻蚀和激光与电化学耦合刻蚀等三种刻蚀作用;在耦合作用中,溶液中激光加工的热效应较小,光热效应导致的刻蚀小;而溶液中激光加工的力学效应对材料的刻蚀作用很大.通过对准分子激光与溶液中靶材相互作用过程的热-力效应分析,更深入地探讨了准分子激光电化学工艺的刻蚀机理.
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| 关 键 词： | 激光技术 激光电化学 热-力效应 刻蚀 硅 |
Study on Thermal-mechanical Effect in Excimer Laser Electrochemical Etching Process |
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| Long Yuhong.Study on Thermal-mechanical Effect in Excimer Laser Electrochemical Etching Process[J].Applied Laser,2009,29(4). |
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| Authors: | Long Yuhong |
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| Keywords: | |
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