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| 高Tc超导薄膜和氧化物多层膜的激光分子束外延研究 | |
| 引用本文： | 王会生,马昆.高Tc超导薄膜和氧化物多层膜的激光分子束外延研究[J].电子显微学报,1997,16(4):463-466. |
| 作者姓名： | 王会生 马昆 |
| 作者单位： | 中国科学院物理研究所，中科院光物理实验室，国家超导实验室 |
| 摘 要： | 本文介绍用激光光子束外延（Ｌ－ＭＢＥ）方法，在高真空条件下外延生长ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ超导薄膜和ＢａＴｉＯ３铁电薄膜以及多层膜的实验结果。 |
| 关 键 词： | L－MBE 外延生长 激光 高Tc超导薄膜 氧化物 |
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