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化合物半导体VHSIC的现在与将来

引用本文：	梁春广,张汉三.化合物半导体VHSIC的现在与将来[J].电子材料（机电部）,1993(9):24-26,13.

作者姓名：	梁春广张汉三

摘要：
关键词：	化合物半导体 VHSIC 半导体器件
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