摘 要: | Coventor电磁环境仿真软件Coventor公司与MEM Research公司进行独家合作,推出提供仿真MEMS器件的2.5D和3D电磁技术。该产品名为EM3DS,为设计人员计算微系统上的电磁效应提供定制方法。这个仿真软件工具是对Coventor公司现有软件工具套件CoventorWare的补充,该套件用于射频、微波和MEMS器件。EM3DS也可独立使用。它采用MoM(method-of-moments)平台,不同于基于有限元法(FEM-based)的典型仿真方法。MoM适合于那些高纵横比(最大尺寸与最小尺寸比很大)的结构。据称,在需要重视纵横比的情况下,如平面结构,MoM可进行更快的2.5D和3D…
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