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| Kyma公司推高掺杂的n~+型氮化镓体单晶衬底 | |
| 引用本文： | 江兴.Kyma公司推高掺杂的n~+型氮化镓体单晶衬底[J].半导体信息,2011(5). |
| 作者姓名： | 江兴 |
| 摘 要： | 美国Kyma公司新推出高掺杂n~+型氮化镓体单晶衬底,尺寸为10´10mm~(-2)和18´18 mm~(-2),同时他们也正在研发直径2英寸的氮化镓衬底,下一步是进入量产阶段。这次Kyma新研制的高掺杂n型氮化镓衬底的电阻率小 |
| 关 键 词： | 体单晶 功率电子器件 氮化镓 光电子器件 氮化铝 电阻率 高掺杂 公司 衬底 |
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