| 基于铌酸锂薄膜的Y波导集成调制器设计 |
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| 引用本文： | 郭宏杰,刘海锋,王振诺,谭满清,李智勇,雷明,郭文涛.基于铌酸锂薄膜的Y波导集成调制器设计[J].红外与毫米波学报,2022,41(3):626-630. |
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| 作者姓名： | 郭宏杰 刘海锋 王振诺 谭满清 李智勇 雷明 郭文涛 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点实验室， 北京 100083;中国科学院大学材料科学与光电工程中心， 北京 100049,中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点实验室， 北京 100083,中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程研究中心，北京 100083;中国科学院大学材料科学与光电工程中心， 北京 100049,中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点实验室， 北京 100083;中国科学院大学材料科学与光电工程中心， 北京 100049,中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点实验室， 北京 100083,中国科学院大学材料科学与光电工程中心， 北京 100049,中国科学院半导体研究所 集成光电子国家重点实验室， 北京 100083 |
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| 基金项目： | Supported by Science and Technology Project of State Grid Corporation of China （No. 5700-202058482A-0-0-00）， National Key Research and Development Program of China （No. 2019YFB2203802）； |
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| 摘 要： | 近年来，基于薄膜铌酸锂（TFLN）平台的高性能电光调制器以其小体积、低能量损耗等特点受到广泛关注。本文提出了一种新的具有垂直电极结构的Y波导铌酸锂薄膜电光调制器。研究了调制器的半波电压与缓冲层厚度之间的关系，优化了Y波导的设计参数，最后设计得到插入损耗<5 dB， 半波电压<1.5 V的高性能调制器。本文不仅为基于TFLN平台的小型化波导的设计和实现提供了思路，而且为制造高性能和多功能的电光调制器提供了实验依据。
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| 关 键 词： | 电光调制器 TFLN Y波导 |
| 收稿时间： | 2021/8/16 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2022/5/20 0:00:00 |
Design of a novel Y-junction electro-optic modulator based on thin film lithium niobite |
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| GUO Hong-Jie,LIU Hai-Feng,WANG Zhen-Nuo,TAN Man-Qing,LI Zhi-Yong,Lei Ming and GUO Wen-Tao.Design of a novel Y-junction electro-optic modulator based on thin film lithium niobite[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2022,41(3):626-630. |
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| Authors: | GUO Hong-Jie LIU Hai-Feng WANG Zhen-Nuo TAN Man-Qing LI Zhi-Yong Lei Ming and GUO Wen-Tao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electro-optic modulator TFLN Y-junction waveguide |
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