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用红外光弹仪测量研究硅单晶应力
引用本文:周佐平,余焕霓,杜警鸣,肖克波,李文江.用红外光弹仪测量研究硅单晶应力[J].红外与毫米波学报,1983,2(4).
作者姓名:周佐平  余焕霓  杜警鸣  肖克波  李文江
作者单位:华南工学院物理系 (周佐平,余焕霓,杜警鸣,肖克波),华南工学院物理系(李文江)
摘    要:本文报道了用红外光弹观测仪定量测量和研究硅单晶残余应力,测定主应力方向和主应力差。为定量计算主应力差,我们给出了几种判别干涉条纹级次的方法。介绍了硅单晶出现残余应力的几种情况。

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