| CCD亚微伏电荷转换因子结构的设计与验证 |
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| 引用本文： | 王小东,汪朝敏,李佳,涂戈,李金.CCD亚微伏电荷转换因子结构的设计与验证[J].光电子技术,2022,42(1):28-31. |
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| 作者姓名： | 王小东 汪朝敏 李佳 涂戈 李金 |
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| 作者单位： | 重庆光电技术研究所,重庆400060 |
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| 摘 要： | 设计了大尺寸输出节点和大尺寸放大器栅电容的CCD特殊输出结构,使输出节点总电容约为4.5×10;F,对设计结构进行了工艺试验。对输出节点电容进行参数校准、结构优化、流片试验、测试验证。试验结果表明,优化设计后的CCD电压转换因子精确地达到了0.352μV/e^(-),满足了航天系统紫外线阵CCD满阱容量需达到1.0×10;e;/pixel量级,饱和输出幅度在3.5~4 V范围,CCD的电压转换因子在0.35μV/e;亚微伏水平(比传统CCD低1~2个数量级)的特殊输出结构要求。
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| 关 键 词： | 电荷耦合器件 电荷转换因子 输出节点电容 亚微伏结构 |
Design and Experiment on Low Level Charge to Voltage Factor Structure of CCD |
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| WANG Xiaodong,WANG Chaomin,LI Jia,TU Ge,LI Jin.Design and Experiment on Low Level Charge to Voltage Factor Structure of CCD[J].Optoelectronic Technology,2022,42(1):28-31. |
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| Authors: | WANG Xiaodong WANG Chaomin LI Jia TU Ge LI Jin |
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