快速流动工业CO_2激光器的输出稳定性

一、工业激光器对输出稳定性的要求在大多数实际应用中,允许激光总输出功率P的脉动为δp(?)(3～5)×10~(-2)P。输出功率的稳定性对淬火过程特别重要。当前CO_2激光器的光束发散度γ在1～10mrad范围内。在激光切割中,若切口的宽度由焦点的直径确定,那么,对于聚焦系统f～0.2～0.5m的典型焦距和切口边缘不平整度a(?)0.1mm,允许的光束发散度不稳性为δγ≤a/f≈(2～5)×10~(-4)rad。淬火过程中,激光功率密度允许的不稳定性约为5％,发散度的脉动不得超过2.5％,即δγ≤2×(10~(-4)～10~(-5))rad。在工件切割和焊接过程中,对激光光轴的