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组分调制ｄ—Si：H超晶格薄膜的微结构及界面特性

引用本文：	陈坤基,徐骏.组分调制ｄ—Si：H超晶格薄膜的微结构及界面特性[J].薄膜科学与技术,1991,4(3):167-172.

作者姓名：	陈坤基徐骏

摘要：
关键词：	组分调制超晶格微结构薄膜
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