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用于圆形口径光学元件的功率谱密度检测
引用本文:陈伟,姚汉民,伍凡,朋汉林,吴时彬.用于圆形口径光学元件的功率谱密度检测[J].红外与激光工程,2006,35(Z2).
作者姓名:陈伟  姚汉民  伍凡  朋汉林  吴时彬
基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划)
摘    要:光学元件加工质量的检测和评价是保证整个光学系统安全、正常运行的关键.波前功率谱密度(Power Spectral Density,PSD)能给出光学表面的空间频谱分布,反映高精度光学元件加工质量的特殊要求.在总结现有功率谱密度指标基础上,提出由于圆形口径的旋转对称性,可以采用径向波前功率谱密度来表征圆形口径光学元件波前频谱分布特征的方法,并给出了采用三坐标仪作为测试仪器测量圆形口径光学元件的波前功率谱密度时相应的数值计算方法.

关 键 词:功率谱密度  光学检测  空间频率

Power spectral density measurement for circular optical surfaces
CHEN Wei,YAO Han-min,WU Fan,PENG Han-lin,WU Shi-bin.Power spectral density measurement for circular optical surfaces[J].Infrared and Laser Engineering,2006,35(Z2).
Authors:CHEN Wei  YAO Han-min  WU Fan  PENG Han-lin  WU Shi-bin
Abstract:
Keywords:
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