| LCoS反射层的实验研究 |
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| 引用本文： | 欧毅,宋玉龙,刘明,凌志华.LCoS反射层的实验研究[J].液晶与显示,2005,20(6):554-557. |
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| 作者姓名： | 欧毅 宋玉龙 刘明 凌志华 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院,微电子研究所,纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029
2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家“973”计划资助项目(No.2003CB314703,2003CB314704) |
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| 摘 要： | LCoS技术是硅基CMOS半导体集成电路技术和液晶显示技术相结合的新技术。铝膜作为LCoS的反射电极，要求有较高的反射率和电导率。采用电子束蒸发的方法，以高纯度的Al为靶材，硅片为衬底，制备了不同厚度的Al反射膜，并测量了在可见光范围内反射率曲线，分析了薄膜的致密性和电导率。实验结果表明，当Al层很薄时，膜的连续性较差，呈岛状或网状结构，膜的导电性不好；如果沉积较厚（1μm以上）则容易形成“铝丘”，即出现多晶态的Al分布，一方面使Al膜表面粗糙，降低其镜面反射率，同样也将严重影响Al膜的电学性能。选定50nm厚度Al膜作为LCoS的反射层为最佳。
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| 关 键 词： | LCoS 电子束蒸发 反射率 电导率 |
| 文章编号： | 1007-2780(2005)06-0554-04 |
| 修稿时间： | 2005年1月4日 |
Experimental Study on Reflective Layer of LCoS |
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| OU Yi,SONG Yu-long,LIU Ming,LING Zhi-hua.Experimental Study on Reflective Layer of LCoS[J].Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays,2005,20(6):554-557. |
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| Authors: | OU Yi SONG Yu-long LIU Ming LING Zhi-hua |
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| Affiliation: | OU Yi~1,SONG Yu-long~2,LIU Ming~1,LING Zhi-hua~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LCoS electron beam evaporation reflectivity conductivity |
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