| 飞秒激光双光子复杂结构的微细加工 |
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| 引用本文： | 袁大军,蒋中伟,郭锐,徐藻,王翔,黄文浩,夏安东,褚家如.飞秒激光双光子复杂结构的微细加工[J].微细加工技术,2004(2):27-30,36. |
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| 作者姓名： | 袁大军 蒋中伟 郭锐 徐藻 王翔 黄文浩 夏安东 褚家如 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230027
2. 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230027;中国科学院,分子反应动力学国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50275140)，国家863计划资助项目(MEMS2003AA404-03) |
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| 摘 要： | 阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点。利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统，在优化工艺参数的基础上，加工出一系列三维微结构，并实现了可动的三维微系统一齿轮轴系统的一次成型。
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| 关 键 词： | 双光子激发 光聚合 飞秒激光器 三维微器件 |
| 文章编号： | 1003-8213(2004)02-0027-04 |
Two-photon Femtosecond Laser Fabrication of Micro-system |
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| YUAN Da-jun,JIANG Zhong-wei,GUO Rui,XU Zao,HUANG Wen-hao,XIA An-dong.Two-photon Femtosecond Laser Fabrication of Micro-system[J].Microfabrication Technology,2004(2):27-30,36. |
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| Authors: | YUAN Da-jun JIANG Zhong-wei GUO Rui XU Zao HUANG Wen-hao XIA An-dong |
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| Affiliation: | YUAN Da-jun~1,JIANG Zhong-wei~1,GUO Rui~1,XU Zao~1,HUANG Wen-hao~1,XIA An-dong~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | two-photon excitation photopolymerization femtosecond laser three-dimensional structure |
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