| 满足自锐效应的AFM探针针尖加工 |
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| 引用本文： | 刘芳,赵钢,吴亚雷,褚家如.满足自锐效应的AFM探针针尖加工[J].微细加工技术,2006(6):52-57,62. |
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| 作者姓名： | 刘芳 赵钢 吴亚雷 褚家如 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,合肥,230027 |
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| 摘 要： | 根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型,设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验。通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、添加剂、掩模方向的关系。结合自锐效应模型,得到了(100)硅片刻蚀针尖自锐条件。最后对工艺参数进行了优化,采用15 mol/L的KOH溶液,在70℃,并且方形掩模边缘平行于<110>方向,可以得到满足自锐效应的、重复率高、表面粗糙度小、高宽比为1.56的单晶硅针尖。
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| 关 键 词： | 单晶硅 针尖 各向异性 |
| 文章编号： | 1003-8213(2006)06-0052-06 |
| 修稿时间： | 2006年5月24日 |
Fabrication of AFM Probe Tip Based on Self-sharpening Effect |
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| LIU Fang,ZHAO Gang,WU Ya-lei,CHU Jia-ru.Fabrication of AFM Probe Tip Based on Self-sharpening Effect[J].Microfabrication Technology,2006(6):52-57,62. |
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| Authors: | LIU Fang ZHAO Gang WU Ya-lei CHU Jia-ru |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AFM |
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