| 图像处理在高精度对准系统中的应用 |
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| 引用本文： | 杨维全,陈伟明,胡松,刘业异.图像处理在高精度对准系统中的应用[J].微细加工技术,2000(1):35-40. |
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| 作者姓名： | 杨维全 陈伟明 胡松 刘业异 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所,成都610209 |
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| 摘 要： | 阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用。并讨论系统应用中的图像处理算法。
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| 关 键 词： | 图像处理 光刻机 对准系统 集成电路 |
| 文章编号： | 1003-8213(2000)01-0007-06 |
| 修稿时间： | 1999-04-13 |
Application of Digital Image Processing In High Precision Alignment System |
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| YANG Wei-quan,CHEN Wei-ming,HU Song,LIU Ye-Yi.Application of Digital Image Processing In High Precision Alignment System[J].Microfabrication Technology,2000(1):35-40. |
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| Authors: | YANG Wei-quan CHEN Wei-ming HU Song LIU Ye-Yi |
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| Affiliation: | YANG Wei-quan
,CHEN Wei-ming
,HU Song
,LIU Ye-Yi
;(Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China) |
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| Abstract: | The principle and implementation of high precision video based alignment system are described. The application of digital image processing technology in the system is introduced. And some algorithms of digital image processing used in the system are also discussed. |
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| Keywords: | Digital image processing Stepper Alignment system Algorithm |
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