| 超声键合换能系统中劈刀的振动特性分析 |
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| 引用本文： | 吕雷,韩雷.超声键合换能系统中劈刀的振动特性分析[J].半导体技术,2008,33(11). |
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| 作者姓名： | 吕雷 韩雷 |
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| 作者单位： | 中南大学,现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室,长沙,410083;中南大学,现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室,长沙,410083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家重点基础研究发展计划(973计划)，湖南省自然科学基金面上项目 |
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| 摘 要： | 阐述了Lyapunov指数作为振动信号的混沌判断原理,并对换能系统的振动信号进行分析与研究,计算了换能系统在不同加载压力下劈刀的振动时间序列的Lyapunov指数.结果表明振动信号中的最大Lyapunov指数均大于0,根据混沌理论可以判定换能系统振动信号中存在混沌现象,应该采用混沌的方法研究与分析换能系统振动信号.通过不同加载压力下的振动速度信号的RMS值与最大Lyapunov指数的比较,发现两者随压力变化趋势相同,为进一步研究超声引线键合换能系统的振动特性提供了有价值的参考.
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| 关 键 词： | 超声引线键合 Lyapunov指数 键合强度 劈刀 |
Analysis of Vibration Characteristics of Bonding Tool in Ultrasonic Transducer System |
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| Lv Lei,Han Lei.Analysis of Vibration Characteristics of Bonding Tool in Ultrasonic Transducer System[J].Semiconductor Technology,2008,33(11). |
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| Authors: | Lv Lei Han Lei |
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| Abstract: | The principle of chaos identification of vibration signal was described,and the vibration signals of ultrasonic wire bonding transducer system were analyzed and researched.It is found that the max Lyapunov exponents of the vibration signals are all above zero by computing Lyapunov exponent in different pressures that of different vibration signals.Then the result of the signals of transducer system contained chaotic phenomenon could be accepted by chaos theory and the vibration time series would be analyzed... |
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| Keywords: | ultrasonic wire bonding Lyapunov exponent bonding strength bonding tool |
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