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| 大口径凸非球面面形检测方法研究 | |
| 引用本文： | 宋强,杨宝喜,袁乔,李璟,朱菁,黄惠杰.大口径凸非球面面形检测方法研究[J].中国激光,2014(4):177-183. |
| 作者姓名： | 宋强 杨宝喜 袁乔 李璟 朱菁 黄惠杰 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室;中国科学院大学; |
| 基金项目： | 国家国际科技合作专项(2011DFR10010);国家科技重大专项(2011ZX02402) |
| 摘 要： | 提出了在非球面检验中以反射镜补偿法线像差的方法,用于大口径凸非球面透镜的检测,克服了在检测大口径非球面透镜时一般需要采用多片透镜补偿的困难,降低了设计难度和装调难度,节约了加工成本。设计并研制了大口径凸非球面透镜检测系统,对误差来源进行了分析并给出消除方法。对直径Φ270mm的凸非球面透镜进行检测,测得的非球面面形误差峰谷(PV)值与均方根(RMS)值分别为0.585λ和0.083λ。该方法为大口径非球面透镜检测提供了技术参考,能够适用于大口径透镜粗抛光阶段中的面形检测。 |
| 关 键 词： | 测量 光学测量 光学制造 非球面 零位补偿 |
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