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| 超外差超光滑表面粗糙度的测量 | |
| 引用本文： | 林跃,周志尧,王润文.超外差超光滑表面粗糙度的测量[J].中国激光,1989,16(8):479-482. |
| 作者姓名： | 林跃 周志尧 王润文 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光机所 (林跃，周志尧)，中国科学院上海光机所(王润文) |
| 摘 要： | 本文用纵向塞曼双频稳频He-Ne激光器作光源,采用光学超外差技术与相位高精度测量相结合.测量超光滑光学表面粗糙度,测量灵敏度为0.1nm量级.实验结果与理论分析相符合,且与其他测量方法进行了比较. |
| 关 键 词： | 光学超外差 表面 粗糙度 |
| 收稿时间： | 1988/1/4 |
Opto-heterodvne measurement or rousrhness of supersmooth surraces |
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| Keywords: | |
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