超外差超光滑表面粗糙度的测量 |
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引用本文: | 林跃,周志尧,王润文.超外差超光滑表面粗糙度的测量[J].中国激光,1989,16(8):479-482. |
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作者姓名: | 林跃 周志尧 王润文 |
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作者单位: | 中国科学院上海光机所
(林跃,周志尧),中国科学院上海光机所(王润文) |
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摘 要: | 本文用纵向塞曼双频稳频He-Ne激光器作光源,采用光学超外差技术与相位高精度测量相结合.测量超光滑光学表面粗糙度,测量灵敏度为0.1nm量级.实验结果与理论分析相符合,且与其他测量方法进行了比较.
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关 键 词: | 光学超外差 表面 粗糙度 |
收稿时间: | 1988/1/4 |
Opto-heterodvne measurement or rousrhness of supersmooth surraces |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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