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| 一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法 | |
| 引用本文： | 钟可君,高益庆,李凤,张志敏.一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法[J].中国激光,2014(3):211-215. |
| 作者姓名： | 钟可君 高益庆 李凤 张志敏 |
| 作者单位： | 南京航空航天大学自动化学院;南昌航空大学无损检测教育部重点实验室; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(61261026);航天科技创新基金(CASC201105) |
| 摘 要： | 提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列。实验和测试结果表明:数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑,形貌良好;复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰,表面光滑,焦面光斑光强均匀。为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径。 |
| 关 键 词： | 光学器件 微光学元件 凹形微透镜阵列 数字灰阶无掩模光刻 模型复制技术 聚二甲基硅氧烷 |
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