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| 用光谱法测试相位光栅层的厚度 | |
| 引用本文： | 曹向群,连华,李何立.用光谱法测试相位光栅层的厚度[J].中国激光,2004,31(Z1). |
| 作者姓名： | 曹向群 连华 李何立 |
| 摘 要： | 按傅里叶光学,当平面波通过光栅时,不同级次的衍射角和强度由光栅而定,根据光栅的衍射频谱可以反推出光栅本身的多种信息.一个新的方法就是选用不同级次的功率谱来测量相位光栅的深度.对3块光栅进行了测试,并给出计算的光栅深度.同时给出6块光栅的测试结果--多级衍射强度,结果表明误差值不大于5%. |
| 关 键 词： | 相位光栅 测试 衍射谱 |
Testing the Depth of Phase Grating by Optical Power Spectrum |
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