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| 封装环境的水汽含量控制 | |
| 引用本文： | 明源.封装环境的水汽含量控制[J].混合微电子技术,2005,16(3):62-64. |
| 作者姓名： | 明源 |
| 作者单位： | 中国兵器工业第214研究所,蚌埠233042 |
| 摘 要： | 本文通过具体的试验尝试，配合一系列控制程序如封装环境控制、工艺加工控制等控制方法，摸索出一种较佳的封装工艺控制程序，为封装环境的水汽含量控制提供参考。 |
| 关 键 词： | 水汽含量 密封 环氧 漏气率 封装工艺 含量控制 环境控制 水汽 控制程序 加工控制 |
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