| 平行平面穿通结击穿电压的计算及比较 |
| |
| 引用本文： | 何进,张兴,黄如,王阳元.平行平面穿通结击穿电压的计算及比较[J].电子学报,2001,29(5):689-691. |
| |
| 作者姓名： | 何进 张兴 黄如 王阳元 |
| |
| 作者单位： | 北京大学微电子学研究所, |
| |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)，G20000365， |
| |
| 摘 要： | 本文研究平行平面穿通结击穿电压的计算.首先根据电离率积分方程得出以归一化外延层厚度为变量的穿通结击穿电压拟合表达式，然后以此为基础，比较了另两种解析方法计算穿通结击穿电压的结果.分析表明：校正临界电场法可给出与电离率积分模式一致的击穿电压，而经典临界电场法将导致较大的误差.
|
| 关 键 词： | 穿通结 击穿电压 经典临界电场法 校正临界电场法 电离率积分 |
| 文章编号： | 0372-2112 (2001) 05-0689-03 |
| 修稿时间： | 2000年5月29日 |
Calculation of Punch-Through Limited Breakdown Voltage of Parallel-Plane Junction and Comparisons |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
