| CO2激光器在光学元件表面处理中的应用 |
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| 引用本文： | 赵松楠,吕海兵,任寰,黄进,蒋晓东,魏晓峰,郑万国,满永在.CO2激光器在光学元件表面处理中的应用[J].激光与光电子学进展,2006,43(3):43-47. |
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| 作者姓名： | 赵松楠 吕海兵 任寰 黄进 蒋晓东 魏晓峰 郑万国 满永在 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 高比容电子铝箔的研究开发与应用项目 |
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| 摘 要： | 介绍了CO2激光修复光学元件表面损伤用其对基片表面缺陷进行抛光的原理、内容以及最新进展，分析了CO2激光修复光学元件表面损伤对元件抗损伤阈值的提高所起的重要作用，并指出技术巾存在的问题。
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| 关 键 词： | CO2激光器 表面处理 损伤阈值 激光损伤 熔石英 |
| 收稿时间： | 2005-10-24 |
| 修稿时间： | 2005-10-24 |
Applications of CO2 Laser Treatment in Optical Surface |
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| ZHAO Songnan,L Haibing,REN Huan,HUANG Jin,JIANG Xiaodong,WEI Xiaofeng,ZHENG Wangguo,MAN Yongzai.Applications of CO2 Laser Treatment in Optical Surface[J].Laser & Optoelectronics Progress,2006,43(3):43-47. |
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| Authors: | ZHAO Songnan L Haibing REN Huan HUANG Jin JIANG Xiaodong WEI Xiaofeng ZHENG Wangguo MAN Yongzai |
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| Affiliation: | Research Center of Laser Fusion, The Chinese Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900 |
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| Abstract: | The theory, content and development about inhibiting the growth of laser-induced surface damage and polishing the disfigurment of surface and the importance to damage thresholds are introduced. The problems in CO2 laser treatment in optical surface are put forward. |
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| Keywords: | CO2 laser surface treatment damage thresholds laser damage fused silica |
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