| 椭偏仪的研究进展 |
| |
| 引用本文： | 杨坤,王向朝,步扬.椭偏仪的研究进展[J].激光与光电子学进展,2007,44(3):43-49. |
| |
| 作者姓名： | 杨坤 王向朝 步扬 |
| |
| 作者单位： | 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金
,
上海市科委资助项目 |
| |
| 摘 要： | 主要介绍了椭偏仪的测量原理,比较了不同结构的椭偏仪,并根据具体应用需求介绍了椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪,分析了椭偏仪的数据处理过程,最后展望了椭偏仪的发展趋势.
|
| 关 键 词： | 椭偏仪 膜厚 折射率 椭偏仪 研究进展 Ellipsometer Progress 趋势 发展 数据处理过程 分析 成像 红外 椭偏光谱仪 求介 应用 结构 比较 测量原理 |
| 收稿时间： | 2006/9/4 |
| 修稿时间： | 2006-09-04 |
Research Progress of Ellipsometer |
| |
| YANG Kun,WANG Xiangzhao,BU Yang.Research Progress of Ellipsometer[J].Laser & Optoelectronics Progress,2007,44(3):43-49. |
| |
| Authors: | YANG Kun WANG Xiangzhao BU Yang |
| |
| Affiliation: | 1 Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, The Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800; 2 Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039 |
| |
| Abstract: | The working principle of the ellipsometers is described. Different configurations of ellipsometers are compared. According to different applications, spectroscopic ellipsometer, infrared spectroscopic ellipsometer, imaging ellipsometer and generalized ellipsometer are introduced, respectively. The data processing of ellipsometer is also analyzed. Finally, the future development of ellipsometer is prospected. |
| |
| Keywords: | ellipsometer thickness of thin film refractive index |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
