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微通道板表面羟基化工艺研究北大核心
引用本文:刘菊耀,王国政,王蓟.微通道板表面羟基化工艺研究北大核心[J].半导体光电,2022,43(2):353-357.
作者姓名:刘菊耀  王国政  王蓟
作者单位:长春理工大学物理学院,长春130022
基金项目:吉林省科技厅重大科技专项(20200501006GX);吉林省教育厅项目(JJKH20200777KJ).通信作者:王国政E-mail:Wguozheng@163.com
摘    要:研究了3种微通道板基底羟基化的方法,测量了羟基化处理后微通道板基底表面水接触角及通道端面的形貌变化,分析了各种方法中微通道板基底的亲水性和腐蚀情况。实验结果表明:氨水双氧水溶液对基体表面的亲水性能提升不大,NaOH溶液对基体有腐蚀作用,经食人鱼溶液处理的基体表面亲水性明显提高且无腐蚀作用。研究了微通道板在食人鱼溶液中的浸泡时间和浸泡温度对表面亲水性的影响。结果表明:随着浸泡温度的增加,微通道板表面水接触角先减小后增大,当温度为80℃时达到极小值,浸泡时间对微通道板表面的亲水性影响不大。最终确定了微通道板表面羟基化工艺:浸泡温度为80℃,静置时间为20~60 min。

关 键 词:微通道板  羟基化  食人鱼溶液  接触角
收稿时间:2021/9/28 0:00:00

Research on Hydroxylation Process of Microchannel Plate
LIU Juyao,WANG Guozheng,WANG Ji.Research on Hydroxylation Process of Microchannel Plate[J].Semiconductor Optoelectronics,2022,43(2):353-357.
Authors:LIU Juyao  WANG Guozheng  WANG Ji
Affiliation:School of Physics, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, CHN
Abstract:
Keywords:microchannel plate  hydroxylation  piranha solution  contact angle
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