| 4096×4096元全帧转移CCD的设计和研制 |
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| 引用本文： | 王颖,权利,张坤,周建勇.4096×4096元全帧转移CCD的设计和研制[J].半导体光电,2011,32(6):762-764. |
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| 作者姓名： | 王颖 权利 张坤 周建勇 |
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| 作者单位： | 1. 重庆光电技术研究所,重庆,400060
2. 中国国防科技信息研究中心,北京,100142 |
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| 基金项目： | 国家核高基重大专项支持课题 |
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| 摘 要： | 重点讨论了像元尺寸为11μm×11μm的4096×4096元可见光CCD全帧转移结构和技术性能参数的设计，采用CCD埋沟工艺和辐射加固技术，研制出了高性能4096X4096元可见光CCD。结果表明器件动态范围达到75dB，读出噪声电子数为30，暗电流产生率为2mV／s，响应非均匀性为2％，非线性为0．4％，且具有抗γ射线辐射能力。
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| 关 键 词： | 全帧转移CCD设计与研制 测试结果 |
Design and Fabrication of Full Frame Transfer 4096×4096 CCD |
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| WANG Ying,QUAN Li,ZHANG Kun,ZHOU Jianyong.Design and Fabrication of Full Frame Transfer 4096×4096 CCD[J].Semiconductor Optoelectronics,2011,32(6):762-764. |
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| Authors: | WANG Ying QUAN Li ZHANG Kun ZHOU Jianyong |
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| Affiliation: | 1(1.Chongqing Optoelectronics Research Institute,Chongqing 400060,CHN; 2.Chinese Research Center of Defence Technology Information,Beijing 100142,CHN) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | full frame transfer charge-coupled device（CCD） design and fabrication test results |
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