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| GaAs光电阴极多信息量测试系统设计 | |
| 引用本文： | 邹继军,钱芸生,常本康,林刚勇,冯林.GaAs光电阴极多信息量测试系统设计[J].半导体光电,2006,27(5):582-585. |
| 作者姓名： | 邹继军 钱芸生 常本康 林刚勇 冯林 |
| 作者单位： | 1. 南京理工大学,电光学院,江苏,南京,210094;东华理工学院,电子工程系,江西,抚州,344000 2. 南京理工大学,电光学院,江苏,南京,210094 3. 东华理工学院,电子工程系,江西,抚州,344000 |
| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研项目 |
| 摘 要： | 为了优化GaAs光电阴极制备工艺,设计了一个用于GaAs光电阴极制备过程监控的多信息量测试系统.系统采用了先进的现场总线技术,可在线测试阴极加热净化过程中真空度随温度的变化曲线,阴极激活过程中光电流、真空度、Cs源和O源电流的变化曲线,以及阴极激活后的光谱响应曲线.光电流测试精度可达1 nA,光谱响应曲线测量范围在400～1 000 nm.利用该系统对阴极制备过程进行了监测,并给出了测试结果. |
| 关 键 词： | GaAs光电阴极 多信息量 现场总线 真空度 光谱响应 GaAs 光电阴极 多信息量 测试结果 系统设计 Measurement System 监测 制备过程 利用 测量范围 测试精度 光谱响应曲线 阴极激活 光电流 激活过程 变化曲线 温度 真空度 热净化 在线测试 |
| 文章编号： | 1001-5868(2006)05-0582-04 |
| 收稿时间： | 2006-02-13 |
| 修稿时间： | 2006年2月13日 |
Design of Multi-information Measurement System for GaAs Photocathodes |
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| ZOU Ji-jun,QIAN Yun-sheng,CHANG Ben-kang,LIN Gang-yong,FENG Lin.Design of Multi-information Measurement System for GaAs Photocathodes[J].Semiconductor Optoelectronics,2006,27(5):582-585. | |
| Authors: | ZOU Ji-jun QIAN Yun-sheng CHANG Ben-kang LIN Gang-yong FENG Lin |
| Abstract: | |
| Keywords: | GaAs photocathode multi-information field bus vacuum degree spectral response |
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